專注廢氣治理和水處理的解決方案服務(wù)商
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萍鄉(xiāng)某微電子半導(dǎo)體體酸堿廢氣處理案例
1.1 項(xiàng)目概況
本項(xiàng)目運(yùn)營期間電鍍過程中產(chǎn)生的甲基磺酸霧，為減少酸霧對(duì)周圍環(huán)境影響,需對(duì)產(chǎn)生的甲基磺酸霧進(jìn)行收集集中治理。
根據(jù)按環(huán)評(píng)資料，電鍍過程中產(chǎn)生甲基磺酸霧產(chǎn)生總量為 7.14t/a
根據(jù)現(xiàn)場情況和環(huán)評(píng)要求，采用集氣管收集+堿液噴淋塔+排氣筒高空排放的工藝來治理。
1.2 處理工藝
根據(jù)甲基磺酸霧的物理特性：甲基磺酸是易溶于水的物質(zhì)，對(duì)氫氧化鈉也能產(chǎn)生化學(xué)中和反應(yīng)。根據(jù)甲基磺酸霧的物理特性和環(huán)評(píng)要求，甲基磺酸霧采用噴淋塔來吸收凈化治理，其工藝流程圖如下所示：
(酸、堿洗）噴淋塔技術(shù)原理
洗滌塔為填料吸收塔，塔內(nèi)氣體通過風(fēng)機(jī)由下向上送入。在一定的溫度和壓力下，水由循環(huán)泵打入塔頂，塔內(nèi)特有的布液裝置使吸收液均勻向下噴淋，溶液能達(dá)到霧化狀態(tài)，形成逆流吸收效果。
酸洗噴淋塔酸洗凈化，可以去除廢氣中的堿性成分、顆粒物以及其他水溶性雜質(zhì)。廢氣中的堿性物質(zhì)與附著在填料表面的酸性液體相接觸進(jìn)行中和反應(yīng)，以達(dá)到凈化廢氣的目的。當(dāng)吸收了一定量的雜質(zhì)后，會(huì)達(dá)到飽和狀態(tài)，須向洗滌塔中的飽和酸液中加入稀硫酸以確保進(jìn)一步清除雜質(zhì)。
堿洗噴淋塔堿洗凈化，通常放在酸洗之后，可以去除廢氣和上一級(jí)洗滌中的酸性成分、顆粒物以及其他水溶性雜質(zhì)。廢氣中的酸性物質(zhì)與附著在填料表面的堿性液體相接觸進(jìn)行中和反應(yīng)，在循環(huán)液趨于飽和狀態(tài)時(shí)需要添加片堿以維持處理效果。
噴淋塔外型為圓形式塔體，配有自動(dòng)補(bǔ)水口、檢修口<帶有機(jī)玻璃視鏡>、供液口、排放口等功能，操作、維護(hù)管理十分方便。通過視鏡隨時(shí)可以觀察和檢查運(yùn)行情況，主要是噴嘴的工作狀況，可以通過檢修孔很方便地及時(shí)檢修和排除故障。內(nèi)置環(huán)形噴淋和填料反應(yīng)層，底部為循環(huán)液配液箱、自動(dòng)補(bǔ)水口、排放口和循環(huán)噴淋泵。循環(huán)液噴淋泵為立式離心耐腐蝕泵。故這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，占地面積小、功能配置齊全，便于操作和維護(hù)管理。
1.2.1 廢氣收集
廢氣的收集根據(jù)現(xiàn)場情況，生產(chǎn)工藝上都預(yù)留了規(guī)格為￠200mm的排氣口（排氣口數(shù)量：22個(gè)），通過風(fēng)管將所有排氣口連接起來，再一起被輸送到總風(fēng)管內(nèi)，再被輸送到噴淋塔內(nèi)進(jìn)行吸收凈化，凈化后的廢氣通過煙囪高空排放。
根據(jù)環(huán)評(píng)和業(yè)主要求，廢氣風(fēng)量按50000m3/h進(jìn)行設(shè)計(jì)。
現(xiàn)場照片如下圖所示：
1.3 工程案例圖片
